水質原子熒光光譜儀是一種檢測物質的定性、定量分析儀器，其原理是根據熒光效應：激光照射原子，原子中電子吸收能量躍遷到激發單線態，但這些激發態是不穩定的，當電子由激發單線態恢復到基態時，能量會以光的形式釋放，產生熒光，一般持續發光時間短于10^-8秒。
儀器通過熒光光譜儀的檢測，可以獲得物質的激發光譜、發射光譜、量子產率、熒光強度、熒光壽命、位移、熒光偏振與去偏振特性，以及熒光的淬滅方面的信息，熒光光譜分析技術常應用于生物研究、制藥分析、化工分析、食品檢測、醫學檢驗、環境監測、礦物分析等。
水質原子熒光光譜儀主要是根據熒光光譜和激發光譜來判定物質的性質和量，具體如下：使激發光的波長和強度保持不變，而讓熒光物質所發生的熒光通過發射單色器照射于檢測器上，調節發射單色器至各種不同波長處，由檢測器測出相應的熒光強度，讓不同波長的激發光激發熒光物質使之發生熒光，而讓熒光以固定的發射波長照射到檢測器上。
利用計算機實現水質原子熒光光譜儀的控制分析和分析數據的計算處理,已成為光譜分析法的發展方向之一。
1.經驗系數法是用已知標樣,測出共存元素之間的影響系數,代入含量或強度公式,校正共存元素對分析元素的影響。該法是最早發展起來和常用的方法。經驗校正方程的數學模式有十幾種之多,但按校正對象的不同,可分為強度校正和含量校正兩大類。
2.基本參數法是基于樣品中每個元素的含量對應于其分析線的相對強度,全部相對強度的總和,對應其百分含量的總和。根據該原理,由測得的分析線強度和一些表示災光強度的基本參數(初線X射線光譜的分布、吸收系數、熒光產額、吸收限、……等)便可求出樣品中分析元素的含量。其優點是,無論何種基體,只需少量標樣,不需經驗系數;缺點是,采用了目前還不太準確的質量衰減系數和熒光產額等基本參數,由此帶來的誤差較大,因而應用較少。
3.經驗系數與基本參數相結合法(XFP),是利用基本參數法,計算出標樣的理論強度,把標樣中的元素當作純元素求出其相對強度,用經驗系數法對標樣回歸求出影響系數,然后利用求出的影響系數和標樣,即可對試樣定量測定。此法綜合了理論和經驗兩方面的特點,既采用基本參數對基體效應進行定量描述,又借用經驗摸式和少量標樣進行校準,使經驗系數法和基本參數法各自揚長避短。由于采用了相對強度,使一些不太準確的參數互相抵消,從而提高了準確性。
光譜分析法是現代分析化學中一種重要的測試手段,不僅測試速度快，測試*無損，樣品制備方法簡單，而且可以分析0.0001-100%含量范圍的元素含量及成分。如果與化學富集法相結合,測定下限可達到ppb級,是礦石礦產土壤合金原始分析中*的測試手段之一。
